Al掺杂ZnO薄膜的射频磁控溅射工艺与光电性能研究

刘心宇, 江民红, 周秀娟, 成钧, 王仲民

材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (10) : 215-218.

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材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (10) : 215-218.
"2008第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会"论文专辑

Al掺杂ZnO薄膜的射频磁控溅射工艺与光电性能研究

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RF Magnetron Sputtering Process and Photoelectric Property of Al Doped ZnO Films

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