碳化硅颗粒表面磁控溅射镀铜膜的研究

俞晓正, 沈志刚, 徐政

材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (3) : 32-35.

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材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (3) : 32-35.
工艺

碳化硅颗粒表面磁控溅射镀铜膜的研究

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Plating Metal Film on the Surface of Carborundum Particles by Magnetron Sputtering Method

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