磁控溅射掺碳TiB2薄膜的 Raman光谱与摩擦行为

许晓静, 盛新兰, 张体峰, 刘敏, 辛喜玲

材料工程 ›› 2012, Vol. 0 ›› Issue (8) : 30-32,38.

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磁控溅射掺碳TiB2薄膜的 Raman光谱与摩擦行为

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Raman Spectrum and Friction Behaviors of Carbon-doped TiB2 Films Prepared by Magnetron Sputtering

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