反应磁控溅射法制备F掺杂ZnO(FZO)薄膜的结构和透明导电性能

祝柏林, 郑思龙, 谢挺, 吴隽

材料工程 ›› 2021, Vol. 49 ›› Issue (11) : 98-104.

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材料工程 ›› 2021, Vol. 49 ›› Issue (11) : 98-104. DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2021.000132
研究论文

反应磁控溅射法制备F掺杂ZnO(FZO)薄膜的结构和透明导电性能

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Structure and transparent conductive properties of F-doped ZnO(FZO) thin films prepared by reactive magnetron sputtering

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