%0 Journal Article %A 赵淑芳 %A 喻利花 %A 马冰洋 %A 许俊华 %T 不同Ti含量的W-Ti-N复合膜的微结构及性能研究 %D 2014 %R 10.11868/j.issn.1001-4381.2014.12.004 %J 材料工程 %P 23-27 %V 0 %N 12 %X 采用多靶反应磁控溅射技术制备一系列不同Ti含量的W-Ti-N复合膜.采用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪等检测方法对薄膜的微结构和力学性能进行表征.采用UMT-2功能摩擦试验机,在室温、大气环境、无润滑的条件下对W-Ti-N复合膜的摩擦性能进行评价, 同时,探讨薄膜的致硬机理和摩擦机制.结果表明:Ti含量(原子分数,下同)为5%~23.48%时,薄膜硬度处于峰值区,硬度值最高可达39GPa,摩擦因数在0.4左右.当Ti含量高于23.48%时,硬度随着Ti含量增加而下降,摩擦因数随Ti含量的增加而升高. %U https://jme.biam.ac.cn/CN/10.11868/j.issn.1001-4381.2014.12.004