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a-C:N膜的制备及结构分析
张贵锋, 张建宏, 耿东生, 刘正堂, 郑修麟
Preparation and Structure Analysis of Amorphous Carbon Nitride Films
Zhang Guifeng, Zhang Jianhong, Geng Dongsheng, Liu Zhengtang, Zheng Xiulin
材料工程 . 1997, (3): 10 -12 .