声光调QNd:YAG激光对硅划片的研究
齐军, 王昆林, 梁绵长, 朱允明
Study on Laser Scribing of Silicon Wafer with a Q-switched Nd:YAG Laser
Qi Jun Wang, Kunlin Liang, Mianchang, Zhu Yunming
材料工程 . 1999, (3): 45 -48 .