多晶硅的性能及应用

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摘要多晶硅是一种重要的半导体材料,广泛地应用于现代电子工业中.硅元件作为控制设备的器件,是电子计算机中不可缺少的部件.本文介绍了多晶硅的性能、用途及制备工艺.

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Abstract：Polysilicon is one of the important semiconductor materials and widely used in modern electronic industry,particularly it is used to manufacture the components of control device in electronic brain.Its properties,usage and the manufacturing process are described in detail.

出版日期: 1989-02-20

引用本文:

赵建新. 多晶硅的性能及应用[J]. 材料工程, 1989, 0(1): 20-22.
Zhao Jianxin. Properties and Application of Polysilicon. Journal of Materials Engineering, 1989, 0(1): 20-22.

链接本文:

http://jme.biam.ac.cn/new/CN/ 或 http://jme.biam.ac.cn/new/CN/Y1989/V0/I1/20