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材料工程  2008, Vol. 0 Issue (11): 36-40    
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磁控溅射Cr/C镀层耐热性能研究
严少平1,2, 蒋百灵1, 苏阳1, 白力静1, 龙艳妮1
1. 西安理工大学材料科学与工程学院, 西安, 710048;
2. 安徽理工大学理学院, 安徽, 淮南, 232001
Study on Heat-resistance of Magnetron Sputtered Cr/C Coating
YAN Shao-ping1,2, JIANG Bai-ling1, SU Yang1, BAI Li-jing1, LONG Yan-ni1
1. School of Materials Science and Engineering.Xi’an University of Technology, Xi’an, 710048, China;
2. College of Science, Anhui University of Science and Technology, Huainan, 232001, Anhui, China
全文: PDF(1783 KB)   HTML()
输出: BibTeX | EndNote (RIS)      
摘要 在空气炉加热环境下于不同温度对采用磁控溅射离子镀技术制备Cr/C镀层样品进行加热保温处理。研究了不同加热温度下镀层的相结构、硬度和结合力的变化,考察了Cr/C镀层的耐热性能。结果表明:在600℃以下,Cr/C镀层保持了高硬度和强结合力的性能,表明镀层具有良好的耐热性能;镀层受热过程中生成了致密的铬氧化物及铬碳化合物,起到阻碍了氧原子向内层扩散的效果,使镀层氧化失稳的温度大大提高,从而保证了良好的耐热性能;处理温度达800℃后,镀层硬度和结合力明显下降。
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严少平
蒋百灵
苏阳
白力静
龙艳妮
关键词 磁控溅射Cr/C镀层热处理耐热性能    
Abstract:Magnetron sputtered Cr-C coatings were treated at different temperatures in the air furnace.The variation of phase structures,microhardness and adhesion of coatings at different temperatures were investigated in order to evaluate the thermal stability of Cr/C coating.The results indicated that:Cr-C coatings presented high microhardness,adhesion and good thermal stability below 600℃.The dense chromium oxide and carbide formed during the coating heated,which hindered the diffusion of oxygen atoms to the inner layers and elevated the destabilizing temperature highly,as a result,a fine heat-resistance presented.The microhardness and adhesion of coatings decreased notably after the processing temperature reached 800℃.
Key wordsmagnetron sputtering    Cr/C coating    heat treatment    heat-resistance
收稿日期: 2007-09-28      出版日期: 2008-11-20
中图分类号:  TG174.32  
  O484.5  
基金资助:国家“863”科技攻关项目(2005AA33H010);西安理工大学创新基金(101-210603)
作者简介: 严少平(1964- ),男,副教授,博士生,研究方向:磁控溅射沉积镀层工艺与材料表面改性研究,联系地址:西安市金花南路5号西安理工大学材料科学与工程学院办公室(710048).E-mail:spyan581@sohu.com
引用本文:   
严少平, 蒋百灵, 苏阳, 白力静, 龙艳妮. 磁控溅射Cr/C镀层耐热性能研究[J]. 材料工程, 2008, 0(11): 36-40.
YAN Shao-ping, JIANG Bai-ling, SU Yang, BAI Li-jing, LONG Yan-ni. Study on Heat-resistance of Magnetron Sputtered Cr/C Coating. Journal of Materials Engineering, 2008, 0(11): 36-40.
链接本文:  
http://jme.biam.ac.cn/CN/      或      http://jme.biam.ac.cn/CN/Y2008/V0/I11/36
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