类金刚石膜研究进展

陈青云, 施凯敏, 苏敏华, 吕会议, 罗瑜, 曾陈

材料工程 ›› 2017, Vol. 45 ›› Issue (3) : 119-128.

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材料工程 ›› 2017, Vol. 45 ›› Issue (3) : 119-128. DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2015.000229
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类金刚石膜研究进展

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Progress of Diamond-like Carbon Films

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