高温ITO薄膜应变计制备及压阻性能

杨伸勇, 张丛春, 杨卓青, 李红芳, 姚锦元, 黄漫国, 汪红, 丁桂甫

材料工程 ›› 2020, Vol. 48 ›› Issue (4) : 145-150.

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材料工程 ›› 2020, Vol. 48 ›› Issue (4) : 145-150. 　DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2018.000875
研究论文

高温ITO薄膜应变计制备及压阻性能

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Fabrication and piezoresistance of high temperature ITO thin film strain gauge

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