功率对脉冲直流磁控溅射制备Si-DLC薄膜组织与性能的影响

王少辉, 柴利强, 胡勇, 王鹏, 李勇

材料工程 ›› 2026, Vol. 54 ›› Issue (10) : 231-240.

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材料工程 ›› 2026, Vol. 54 ›› Issue (10) : 231-240. 　DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2024.000539 　CSTR: 32421.14.j.issn.1001-4381.2024.000539
研究论文

功率对脉冲直流磁控溅射制备Si-DLC薄膜组织与性能的影响

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Effect of power on microstructure and properties of Si-DLC films fabricated by pulsed direct current magnetron sputtering

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