CO2气氛下高择优取向（110）光学级金刚石膜的制备

杨鏊, 刘宇晨, 郭之健, 陈良贤, 刘金龙, 魏俊俊, 李成明

材料工程 ›› 2026, Vol. 54 ›› Issue (2) : 285-293.

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材料工程 ›› 2026, Vol. 54 ›› Issue (2) : 285-293. 　DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2025.000133 　CSTR: 32421.14.j.issn.1001-4381.2025.000133
研究论文

CO2气氛下高择优取向（110）光学级金刚石膜的制备

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Preparation of highly preferred （110） optical-grade diamond films under CO2 atmosphere

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