电磁场氮分压等对多弧离子镀TiN的影响

周细应, 付志强, 万润根, 陈凯旋

材料工程 ›› 1993, Vol. 0 ›› Issue (12) : 35-37.

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材料工程 ›› 1993, Vol. 0 ›› Issue (12) : 35-37.
材料研究与应用

电磁场氮分压等对多弧离子镀TiN的影响

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Influence of Magnetic Field and N2 Partial Pressure on TiN coating of Ion Plating with Multi-Arc Source

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