化学气相沉积ZnS块材料的均匀性

憨勇, 郑修麟, 刘正堂

材料工程 ›› 1996, Vol. 0 ›› Issue (12) : 25-27.

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材料工程 ›› 1996, Vol. 0 ›› Issue (12) : 25-27.
研究和应用

化学气相沉积ZnS块材料的均匀性

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The Uniformity of ZnS Bulk Materials Prepared by Chemical Vapor Deposition

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