利用射频磁控溅射制作高性能铁磁性薄膜的研究

夏洋, 于广华, 朱逢吾, 肖纪美, 方光旦, 宋庆山, 熊鑫恩

材料工程 ›› 1998, Vol. 0 ›› Issue (5) : 31-33.

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材料工程 ›› 1998, Vol. 0 ›› Issue (5) : 31-33.
论文

利用射频磁控溅射制作高性能铁磁性薄膜的研究

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Studies on Fe Thin Film by RF Magnetron Sputtering

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