氮化钽薄膜的制备与结构研究

冷永祥, 黄楠, 杨萍

材料工程 ›› 1998, Vol. 0 ›› Issue (9) : 18-20,27.

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材料工程 ›› 1998, Vol. 0 ›› Issue (9) : 18-20,27.
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氮化钽薄膜的制备与结构研究

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Research on Synthesis of Taltanlum Nitride Film and Its Structure

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