提高溅射沉积MoS2膜耐磨性的途径及分析

张晓玲, 胡奈赛, 何家文

材料工程 ›› 1999, Vol. 0 ›› Issue (10) : 44-47.

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材料工程 ›› 1999, Vol. 0 ›› Issue (10) : 44-47.
综述

提高溅射沉积MoS2膜耐磨性的途径及分析

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Study on the Methods to Improve the Propertiesof Sputtering Deposited MoS2 Films

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