TiN/AlN纳米多层膜的研究

李戈扬, 施晓蓉, 吴亮, 许俊华, 戎咏华, 张惠娟

材料工程 ›› 1999, Vol. 0 ›› Issue (11) : 6-9,13.

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材料工程 ›› 1999, Vol. 0 ›› Issue (11) : 6-9,13.
研究与应用

TiN/AlN纳米多层膜的研究

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A Study of TiN/AlN Nano Multilayers

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