W/Mo超晶格薄膜的微结构研究

李戈扬, 张流强, 许俊华, 吴亮, 李鹏兴, 顾明元

材料工程 ›› 1999, Vol. 0 ›› Issue (3) : 24-27.

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材料工程 ›› 1999, Vol. 0 ›› Issue (3) : 24-27.
研究与应用　

W/Mo超晶格薄膜的微结构研究

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A Study on the Microstructure of W/Mo Superlattice Thin Films

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