CVD法水蒸气条件下制备SiC块体

焦桓, 周万城, 李翔

材料工程 ›› 2000, Vol. 0 ›› Issue (12) : 12-14,18.

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研究与应用

CVD法水蒸气条件下制备SiC块体

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Growth Rate and Deposition Process of SiC with Water Vapor Introduced by CVD

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