CVD法与PCVD法TiN薄膜研究

刘齐成, 刘培英, 陶冶, 刘利

材料工程 ›› 2000, Vol. 0 ›› Issue (12) : 22-25.

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材料工程 ›› 2000, Vol. 0 ›› Issue (12) : 22-25.
研究与应用

CVD法与PCVD法TiN薄膜研究

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Investigation on TiN Coating by CVD and Pulsed D. C. PCVD methods

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