离子辅助轰击能量对类金刚石薄膜性能的影响

齐军, 雒建斌, 王静, 李文治, 温诗铸

材料工程 ›› 2000, Vol. 0 ›› Issue (2) : 3-5,44.

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材料工程 ›› 2000, Vol. 0 ›› Issue (2) : 3-5,44.
研究与应用

离子辅助轰击能量对类金刚石薄膜性能的影响

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Effect of Ion Bombardment Energy on the Properties of Diamond-like Carbon Film

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