Cr离子注入铜薄膜对氧化物形成特征的影响

王二敏, 王晓震, 赵新清

材料工程 ›› 2000, Vol. 0 ›› Issue (8) : 39-40,46.

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材料工程 ›› 2000, Vol. 0 ›› Issue (8) : 39-40,46.
研究与应用

Cr离子注入铜薄膜对氧化物形成特征的影响

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The Effect of Ion Implantation on the Characteristics of Oxide Formation of Copper Thin Films

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