Ti/ZrN2/Al薄膜界面扩散反应的研究

朱永法, 殷木省, 王莉, 姚文清, 嵇世山, 曹立礼

材料工程 ›› 2001, Vol. 0 ›› Issue (7) : 36-39.

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材料工程 ›› 2001, Vol. 0 ›› Issue (7) : 36-39.
论文

Ti/ZrN2/Al薄膜界面扩散反应的研究

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A Study of Interface Diffusion and Reaction of Ti/ZrN2/Al Film

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