退火温度对Si基Bi4Ti3O12铁电薄膜微观结构影响研究

王华, 于军, 王耘波, 倪尔瑚

材料工程 ›› 2002, Vol. 0 ›› Issue (11) : 29-31,47.

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材料工程 ›› 2002, Vol. 0 ›› Issue (11) : 29-31,47.
研究与应用

退火温度对Si基Bi4Ti3O12铁电薄膜微观结构影响研究

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Temperature Effects on Microstructure of Bi4Ti3O12 Ferroelectric Thin Films on Si Substrates

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