微等离子体氧化法制备钛酸钡陶瓷膜

姜兆华, 李文旭, 闫久春, 李益民

材料工程 ›› 2002, Vol. 0 ›› Issue (2) : 34-37.

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材料工程 ›› 2002, Vol. 0 ›› Issue (2) : 34-37.
研究与应用

微等离子体氧化法制备钛酸钡陶瓷膜

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Fabrication of Barium Titanate Thin Films by Microplasma Oxidation

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