力学探针两步压入法研究(Ti, Al)N/AlN纳米多层膜的超硬效应

田家万, 韩增虎, 虞晓江, 赖倩茜, 李戈扬

材料工程 ›› 2002, Vol. 0 ›› Issue (6) : 10-13.

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研究与应用

力学探针两步压入法研究(Ti, Al)N/AlN纳米多层膜的超硬效应

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Studies on the Superhardness Effect of (Ti, Al)N/AlN Nano-scale Multilayers by Two-step Penetration Method Using the Microindentation Technique

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