CVD法制备SiC先进陶瓷材料研究进展

刘荣军, 周新贵, 张长瑞, 曹英斌

材料工程 ›› 2002, Vol. 0 ›› Issue (7) : 46-49.

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材料工程 ›› 2002, Vol. 0 ›› Issue (7) : 46-49.
综述

CVD法制备SiC先进陶瓷材料研究进展

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Development of SiC Advanced Ceramics by CVD

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