溶胶-凝胶法与射频磁控溅射法制备ZnO薄膜及其表征对比

任思雨, 王英连, 孙汪典, 刘玉华

材料工程 ›› 2004, Vol. 0 ›› Issue (11) : 50-52,56.

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材料工程 ›› 2004, Vol. 0 ›› Issue (11) : 50-52,56.
研究与应用

溶胶-凝胶法与射频磁控溅射法制备ZnO薄膜及其表征对比

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Characteristic Comparison of ZnO Thin Film Prepared by Sol-gel Method and R.F. Magnetron Sputtering

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