射频反应溅射(Al,Ti)N涂层的微结构与力学性能

赵文济, 梅芳华, 董云杉, 李戈扬

材料工程 ›› 2005, Vol. 0 ›› Issue (9) : 48-52.

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材料工程 ›› 2005, Vol. 0 ›› Issue (9) : 48-52.
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射频反应溅射(Al,Ti)N涂层的微结构与力学性能

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Microstructure and Mechanical Properties of Reactively Sputtered(Al,Ti)N Coatings

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