蓝宝石和硅衬底上氮化硅薄膜的制备和性能研究

宋文燕, 崔虎, 苏勋家, 刘正堂

材料工程 ›› 2006, Vol. 0 ›› Issue (2) : 38-40.

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材料工程 ›› 2006, Vol. 0 ›› Issue (2) : 38-40.
论文

蓝宝石和硅衬底上氮化硅薄膜的制备和性能研究

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Preparation and Properties of Si3N4 Films on Sapphire and Si Substrates

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