磁控溅射法制备CNx薄膜及其结构表征

王继刚, 李红, 张旭海, 李凡, 蒋建清

材料工程 ›› 2006, Vol. 0 ›› Issue (7) : 11-13,18.

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材料工程 ›› 2006, Vol. 0 ›› Issue (7) : 11-13,18.
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磁控溅射法制备CNx薄膜及其结构表征

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Structure Characterization and Preparation of Carbon Nitride Film Using Magnetron Sputtering

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