PECVD法制备硅基ZnO薄膜光学性能的研究

王应民, 杜楠, 蔡莉, 李禾, 程国安

材料工程 ›› 2007, Vol. 0 ›› Issue (11) : 71-75.

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材料工程 ›› 2007, Vol. 0 ›› Issue (11) : 71-75.
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PECVD法制备硅基ZnO薄膜光学性能的研究

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Optical Property of ZnO Films Grown on Si Substrate by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

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