溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究

邱成军, 刘红梅, 张辉军, 赵全亮, 孟丽娜, 曹茂盛

材料工程 ›› 2007, Vol. 0 ›› Issue (8) : 24-27.

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材料工程 ›› 2007, Vol. 0 ›› Issue (8) : 24-27.
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溶胶-凝胶法制作PZT微驱动器的研究

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Research of Microactuator with PZT Prepared by Sol-gel

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