低介电常数纯硅数分子筛薄膜的制备与表征

袁昊, 解丽丽, 田震, 王利军

材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (10) : 110-113.

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"2008第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会"论文专辑

低介电常数纯硅数分子筛薄膜的制备与表征

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Application of Ultraviolet Treatment on Synthesis of Pure-silica Zeolite Low Dielectric Constant Thin Films

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