P型单晶硅片在KOH溶液中腐蚀行为的电化学研究

宋晓岚, 张晓伟, 徐大余, 喻振兴, 邱冠周

材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (10) : 126-131.

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材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (10) : 126-131.
"2008第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会"论文专辑

P型单晶硅片在KOH溶液中腐蚀行为的电化学研究

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Electrochemical Study on Corrosion Behaviors of p-silicon Wafers in KOH Solutions

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