碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究

韩建强, 卢少勇, 李青, 王疆英

材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (10) : 92-94,97.

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材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (10) : 92-94,97.
"2008第七届中国国际纳米科技(武汉)研讨会"论文专辑

碘过饱和KOH溶液腐蚀硅尖技术研究

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Microfabrication Silicon Tips in Iodine-supersaturated KOH Solution

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