化学气相沉积法制备SiC/SiO2梯度复合涂层的热力学分析

付志强, 周家斌, 王成彪, 唐春和, 梁彤祥, 赵宏生, ROBIN Jean-charles

材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (6) : 68-71.

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化学气相沉积法制备SiC/SiO2梯度复合涂层的热力学分析

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Thermodynamic Analysis of Chemical Vapor Deposition Process for SiC/SiO2 Graded Composite Coating

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