用于MEMS热敏传感器中绝热层的多孔硅性能研究

李昌青, 胡明, 杨海波

材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (8) : 9-12.

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材料工程 ›› 2008, Vol. 0 ›› Issue (8) : 9-12.
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用于MEMS热敏传感器中绝热层的多孔硅性能研究

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Study on Performance of Porous Silicon Used in Thermal Isolation Layer of Micro Thermal Sensor

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