多孔硅气体传感器的制备及其气敏性能的研究

李东海, 胡明, 孙凤云, 陈鹏, 孙鹏

材料工程 ›› 2009, Vol. 0 ›› Issue (4) : 71-74.

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材料工程 ›› 2009, Vol. 0 ›› Issue (4) : 71-74.
工艺

多孔硅气体传感器的制备及其气敏性能的研究

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Study on Fabrication of Porous Silicon Gas Sensor and Gas Sensing-characteristics

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