退火对Y2O3薄膜结构和光学性能的影响

王耀华, 陈广超, 贺琦, 李成明, 吕反修

材料工程 ›› 2010, Vol. 0 ›› Issue (2) : 47-51.

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材料工程 ›› 2010, Vol. 0 ›› Issue (2) : 47-51.
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退火对Y2O3薄膜结构和光学性能的影响

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Effect of Annealing on Structure and Optical Properties of Y2O3 Thin Films

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