电子束束流密度对冶金硅中杂质磷的影响

姜大川, 谭毅, 董伟, 王强, 彭旭, 李国斌

材料工程 ›› 2010, Vol. 0 ›› Issue (3) : 18-21.

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材料工程 ›› 2010, Vol. 0 ›› Issue (3) : 18-21.
测试与表征

电子束束流密度对冶金硅中杂质磷的影响

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Effect of Beam Density of Electron Beam on Phosphorus Impurity in Metallurgical Grade Silicon

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