电子束熔炼多晶硅对杂质铝去除机制研究

姜大川, 董伟, 谭毅, 王强, 彭旭, 李国斌

材料工程 ›› 2010, Vol. 0 ›› Issue (8) : 8-11.

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材料工程 ›› 2010, Vol. 0 ›› Issue (8) : 8-11.
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电子束熔炼多晶硅对杂质铝去除机制研究

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Investigation on Removal of Aluminum Impurity in Metallurgical Grade Silicon by Electron Beam Melting

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