多孔硅的制备及其吸杂处理对电学性能的影响

李佳艳, 郭素霞, 谭毅, 刘辰光

材料工程 ›› 2012, Vol. 0 ›› Issue (3) : 70-73.

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材料工程 ›› 2012, Vol. 0 ›› Issue (3) : 70-73.
测试与表征

多孔硅的制备及其吸杂处理对电学性能的影响

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Preparation of Porous Silicon and the Influence of Gettering on the Electrical Properties

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