非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜

黑立富, 徐俊波, 陈良贤, 李成明, 吕反修

材料工程 ›› 2012, Vol. 0 ›› Issue (7) : 92-96.

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材料工程 ›› 2012, Vol. 0 ›› Issue (7) : 92-96.
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非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜

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TiN/NbN Multilayers Prepared by Asymmetrical Bipolarpulsed Reactive Magnetron Sputtering

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