非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜

黑立富, 徐俊波, 陈良贤, 李成明, 吕反修

材料工程 ›› 2012, Vol. 0 ›› Issue (7) : 92-96.

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非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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TiN/NbN Multilayers Prepared by Asymmetrical Bipolarpulsed Reactive Magnetron Sputtering

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2012, 0(7): 92-96
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2012, 0(7): 92-96
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{{article.reference}}

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