低温等离子复合技术淀积Al2O3膜的性能及应用

林锡刚, 陈叔鑫, 缪竞威, 韦建军

材料工程 ›› 1999, Vol. 0 ›› Issue (10) : 11-13.

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材料工程 ›› 1999, Vol. 0 ›› Issue (10) : 11-13.
研究与应用

低温等离子复合技术淀积Al2O3膜的性能及应用

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Properties and Application of the Low-Temperature Plasma Multiple Technology Deposition Al2O3 Films

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