热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究

戚学贵, 陈则韶, 王冠中

材料工程 ›› 2001, Vol. 0 ›› Issue (11) : 31-34,16.

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材料工程 ›› 2001, Vol. 0 ›› Issue (11) : 31-34,16.
研究与应用

热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究

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Study of the Relationship between Temperature Field and Diamond Film Growth in Hot-filament CVD Reactors

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