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材料工程  2001, Vol. 0 Issue (11): 31-34,16    
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热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究
戚学贵, 陈则韶, 王冠中
中国科学技术大学, 合肥, 230027
Study of the Relationship between Temperature Field and Diamond Film Growth in Hot-filament CVD Reactors
QI Xue-gui, CHEN Ze-shao, WANG Guan-zhong
University of Science and Technology of China, Hefei 230027, China
全文: PDF(258 KB)   HTML()
输出: BibTeX | EndNote (RIS)      
摘要 对热丝化学气相沉积金刚石薄膜系统内的三种传热方式(传导、对流和辐射)进行了比较分析,数值计算了气相空间温度分布和衬底表面二维温度分布。采用热丝化学气相沉积工艺制备了金刚石薄膜,扫描电镜结果显示金刚石薄膜在不同生长区域呈现出与温度分布相关的微观结构与形貌。
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戚学贵
陈则韶
王冠中
关键词 热丝化学气相沉积金刚石温度场薄膜生长    
Abstract:Heat and mass transfer affect growth rate and properties of diamond films in hot filament chemical vapor deposition reactors. Thermal transfer in three ways(conduction, convection and radiation) was analyzed and the temperature fields were also numerically calculated in this paper. Conduction is the dominant mechanism in gas-phase thermal transfer, while the temperature field on the substrate surface is determined mainly by radiation from the filament. The growth rate and microstructure of the diamond film prepared by HFCVD method is related to the temperature field on the substrate surface Large-area temperature field of high uniformity, which benefits to the growth of diamond film in large scale, can be obtained by using multi-filaments.
Key wordshot-filament CVD    diamond    temperature field    film growth
收稿日期: 2000-11-28      出版日期: 2001-11-20
中图分类号:  TQ164  
  8  
  P423  
基金资助:国家自然科学基金资助项目(59976038)
作者简介: 戚学贵(1976- ),男,博士研究生,联系地址:安徽合肥中国科学技术大学323-135室(230026).
引用本文:   
戚学贵, 陈则韶, 王冠中. 热丝法化学气相沉积金刚石系统温度分布与薄膜生长关系研究[J]. 材料工程, 2001, 0(11): 31-34,16.
QI Xue-gui, CHEN Ze-shao, WANG Guan-zhong. Study of the Relationship between Temperature Field and Diamond Film Growth in Hot-filament CVD Reactors. Journal of Materials Engineering, 2001, 0(11): 31-34,16.
链接本文:  
http://jme.biam.ac.cn/new/CN/      或      http://jme.biam.ac.cn/new/CN/Y2001/V0/I11/31
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