高频声表面波材料及器件制备工艺的研究

李冬梅, 陈菁菁, 李晖, 潘峰

材料工程 ›› 2003, Vol. 0 ›› Issue (8) : 40-42,36.

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材料工程 ›› 2003, Vol. 0 ›› Issue (8) : 40-42,36.
工艺

高频声表面波材料及器件制备工艺的研究

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Research on Materials of High Frequency Surface Acoustic Wave and Preparation of its Devices

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