基体负偏压对类金刚石涂层结构和性能的影响

纪锡旺, 许振华, 贺莉丽, 何利民, 郝俊文, 甄洪滨

材料工程 ›› 2015, Vol. 43 ›› Issue (8) : 43-49.

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材料工程 ›› 2015, Vol. 43 ›› Issue (8) : 43-49. DOI: 10.11868/j.issn.1001-4381.2015.08.008
材料与工艺

基体负偏压对类金刚石涂层结构和性能的影响

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Influences of Substrate Negative Bias Voltage on Microstructure and Performance of DLC Coatings

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